Корзо В.Ф., Черняев В.Н. - Диэлектрические пленки в микроэлектронике

В книге анализируются наиболее характерные свойства пленочных диэлектриков, используемых в современных полевых приборах и элементах функциональной микроэлектроники. Рассмотрены основные технологические методы получения тонких диэлектриков с заданными свойствами и влияние технологических параметров на их физические и эксплуатационные характеристики.
Определены наиболее характерные особенности практического использования пленок некристаллических диэлектриков в различных типах современных электронных устройств.
Книга рассчитана на инженерно-технических работников, специализирующихся в области разработки и применения диэлектрических материалов в пленочной электронике и смежных областях.

Название: Диэлектрические пленки в микроэлектронике
Автор: Корзо В.Ф., Черняев В.Н.
Жанр: Учебное пособие
Издательство: Энергия
Год: 1977
Страниц: 368
Язык: Русский
Формат: pdf
Размер: 30,75 Mb