В учебном пособии описываются условия и излагаются основные закономерности развития наиболее значительных изменений рельефа поверхности твердых тел при ионном и плазменном облучении. Рассмотрены различные виды рельефа, которые формируются при подобном воздействии. Приводятся модели явлений.
